米格实验室 发表于 2021-1-22 14:24:00

【特色服务】IV测试探针台


探针台简介探针台是半导体行业、光电行业、集成电路以及封装等行业的测试设备。探针台主要应用于半导体行业、光电行业、集成电路以及封装的测试。广泛应用于复杂、高速器件的精密电气测量的研发,旨在确保质量及可靠性,并缩减研发时间和器件制造工艺的成本。

探针台原理探针台是利用探针直接与测试对象的焊垫或凸块等直接接触,引出讯号,达到测试的目的。

探针台组成部件探针台由探针台主体,显微镜,高精度CCD,探针座,探针夹具,真空泵等组成,由探针台组成的IV测试系统还需要配备高精度电源和测试软件。

米格实验室-IV测试探针台提供6寸及以下的探针IV测试服务精确的电流电压控制(安捷伦B2902A电源,电流精度100fA);简洁的IV测试软件(Quick IV);可视化的探针位置以及晶圆形貌显示(高像素CCD)。

IV测试探针台参数1. 探针台1)样品要求:≤6寸wafer, 1um以上电极pad; 2)卡盘旋转调节精度:0.002° ;
2. 显微镜1)物镜变焦倍率:0.8倍~5倍;2)目镜倍率:20倍;3)总的放大倍率:16倍~100倍 ;
3. CCD1)像素:200万;2)帧率60fps;
4. 探针座1)精度:0.7um;2)磁力吸附,磁力开关;
5. 探针夹具1)配合屏蔽箱漏电精度能达 100FA;
6.测试电源1)型号:安捷伦B2902A;2)通道:双通道;3)最小电源分辨率:1 pA/1 μV,最小测量分辨率:100 fA/100 nV;4)最大输出:210 V、3 A 直流/10.5 A 脉冲;5)任意波形发生器和 20 μs 间隔的数字转化能力;6)搭配可视化的简单操作软件Quick IV;

收费标准500元/小时

寄样可远程,邮寄,现场





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