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发表于 2020-2-17 21:28:47 | 显示全部楼层 |阅读模式

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Autoconcept GD90 高分辨辉光放电质谱仪 GDMS
一、仪器介绍
Autoconcept GD90 是一个专为高精度元素分析所设计的高分辨辉光放电质谱仪。此辉光
放电质谱仪(GDMS)提供了固体金属与绝缘体的直接分析检测。它具有非常宽的元素覆盖
范围,可得到超过 70 种元素的有效数据,灵敏度高,轻元素重元素均可。
GDMS 技术使原子化(碎片化)过程与离子化过程分开进行,故而可容易的对 ppb 至
ppt 级别的痕量杂质进行测量。此法还使得 GDMS 技术拥有最小的基体效应且无须特定参照
材料。它可对金属与合金进行全扫描分析,可对半导体进行整体的测量分析,可对多层结构
与镀层进行深度剖析。是包括金属、合金、半导体以及绝缘体(须配 RF 源)等高纯材料的
生产与质量控制的理想工具。
(出处米格实验)

米格实验室v1-Autoconcept GD90高分辨辉光放电质谱仪 GDMS.pdf

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