功率器件（IGBT、MOSFET）真空氮气烘箱老化测试服务

一、背景介绍

随着电动汽车、轨道交通、电网、工业设备的发展，大量的功率器件被采用，对可靠性的要求也不断提高，在功率器件使用之前进行必要的前烘，一般IGBT、MOSFET烘烤是在氮气环境下升温至125度，保温一定时间，将封装中吸附的水气烘烤，按照24h或者96h进行。可以有效的降低器件封装内部吸附的水汽含量，同时有效剔除早期失效品，进行一定的筛选，对后期使用过程中不良品的产生有重要的作用。

图1：设备照片

二、精密烘箱技术参数

1.本试验箱内胆体积：长 600mm*宽 700mm*高 600mm；

2.托盘尺寸：不锈钢网孔，长560mm*宽660mm*1.5mm，共10层，层间距

3.温度范围：室温~200 0C，升温≤10℃/min

4.控温精度：<+10C；温度均匀性<+20C；（空载测试）

5.真空度：133 Pa；

6.氮气：自动充氮气

三、测试大纲及注意事项

1.仪器设置：接通电源、打开氮气阀门、检查线路、仪表盘、设置烘烤温度、保温时间、自动真空充气程序，确保设备处于正常工作状态；
  （比如：125度、12h、1h-自动充氮气时间）

图2：参数设置

2.进样：戴好防静电手套（注意！！），按照顺序和标号以此拜访在托盘上，记录后芯片码放的位置，同时将托盘从下至上平稳放入烘箱中。

  注意：相邻芯片之间封装管壳拜访要均匀，不能够相互挤压）

图3：托盘芯片摆放

3.工作：关闭舱门，抽真空，待真空度达到133Pa后，自动进氮气并升温，升温速率<10度/min；待升温达到125度（目标温度）后自动保温12h（目标时间），期间仪器自动检测箱体内氮气状态，每个1h自动进行抽真空充氮气流程。

4.出样：完成12h保温后，设备自动降温至室温，工作人员戴好放静电手套依次从上至下取出托盘，按照编号顺序将器件装回原包装盒，并抽真空保存；

注意：

1. 在测试前准备好放静电手套；

2. 在取样之前提前备好真空袋和包装机；

3. 每箱容纳样品数量，对于标准IGBT芯片（4cm*1.5cm*5mm），一个托盘600颗；

四、收费标准：

1. 按照炉*12h为一个单元，3000/单元；

2. 按照器件数量*12h为一个单元，每颗0.5元/颗/12h；

五、设备详情：

产品名称		精密型真空烘箱
型号		NMT-1001 型
主要技术参数	内胆尺寸	深 600*宽 700*高 600mm
	外形尺寸    （约）	深 800*宽 00*高 1500mm
	温度范围	室温+20℃～+200℃
	温度波动度	≤±1℃
	温度均匀度	≤±2℃(恒温状态下，空载测试)
	真空度	133 Pa
	升温速率	≤10℃/min
	外壳温度	温升不超过环境+15℃，门周边除外。
	电源	二相三线制，220V，50HZ
	总功率	5KW
箱体结构特征	外壳材料	采用 2mm 厚 Q235 冷轧钢板（强度、塑性和焊接综合性能最好）折弯焊接制作
	表面处理	表面打磨、抛光、磷化（可以增加金属的耐蚀性，油漆的附着力）高温喷塑（大波纹型），可防止生锈，耐腐蚀。  颜色为“电脑灰”
	内胆材料	采用 1.5mm 厚 SUS304 不锈钢板制作
	箱体骨架	采用 50*50*3mm 角铁制作，保持箱体内外各个面的承载强度，并保留热胀冷缩系数，防止箱体变形。
	保温材料	采用 100K 加密型硅酸铝岩棉    具有不可燃烧，隔热性强等特点，厚度为  100mm
	门	单开门，从左往右边开启 箱门闭合松紧能调节，整体成型的硅胶门封圈，确保箱内高真空度
	移动脚轮	箱体底部安装 4 件带刹车万向轮，方便烤箱移动和固定
	托盘	采用·
控制系统	加热管	采用台湾产 SUS304 不锈钢 U 型发热管，带散热片，可使发热管温度均匀散发
	真空泵	采用谭氏 0.37KW 旋片式真空泵，双极系列旋片式泵，真空高，噪音低，运行稳定    连接管：不锈钢波纹管，完全密封将真空泵与烘箱连接
	控温温控器	微电脑智能型，PV 与 SV 双 LED 显示功能，当温度超过超温保护温控器设定值时，自动切断加热电源
	超温保护温    器	当温度超过超温保护温控器设定值时，自动切断加热电源
	时间控制	可设置最大时间为 99 小时，单位可以任意切换为小时、分钟、秒
	加热管控制	采用 SSR 固态继电器控制每组发热管
	温度传感器	欧姆龙 3 米标准型，K 型热电偶
	其它	控制电器均采用施耐德品牌或欧姆龙
功能	自动恒温	温控器可根据用户设定的温度值，采用  PID 自动计算输出功率的大小，  越接近温度设定值时，输出功率越小，以达到恒温控制的目的，并可节能省电
	充氮	配有充氮口及转子流量计
	超温报警	当实际检测温度超过超温保护温控器设定值时，自动切断加热电源，起到双重保护功能
	声光报警	配带蜂鸣器的报警灯
	接地保护	结构件安全接地保护
	电源缺相、相    序保护	配有相序保护器
环境条件	环境温度	- 5℃-40℃
	相对湿度	≤85%RH
	电源	二相三线制，220V，50HZ