【特色服务】IV测试探针台

一

探针台简介

探针台是半导体行业、光电行业、集成电路以及封装等行业的测试设备。探针台主要应用于半导体行业、光电行业、集成电路以及封装的测试。广泛应用于复杂、高速器件的精密电气测量的研发，旨在确保质量及可靠性，并缩减研发时间和器件制造工艺的成本。

二

探针台原理

探针台是利用探针直接与测试对象的焊垫或凸块等直接接触，引出讯号，达到测试的目的。

三

探针台组成部件

探针台由探针台主体，显微镜，高精度CCD，探针座，探针夹具，真空泵等组成，由探针台组成的IV测试系统还需要配备高精度电源和测试软件。

四

米格实验室-IV测试探针台

提供6寸及以下的探针IV测试服务

精确的电流电压控制（安捷伦B2902A电源，电流精度100fA）；

简洁的IV测试软件（Quick IV）；

可视化的探针位置以及晶圆形貌显示（高像素CCD）。

五

IV测试探针台参数

1. 探针台

1）样品要求：≤6寸wafer, 1um以上电极pad；

2）卡盘旋转调节精度：0.002° ；

2. 显微镜

1）物镜变焦倍率：0.8倍~5倍；

2）目镜倍率：20倍；

3）总的放大倍率：16倍~100倍 ；

3. CCD

1）像素：200万；

2）帧率60fps；

4. 探针座

1）精度：0.7um；

2）磁力吸附，磁力开关；

5. 探针夹具

1）配合屏蔽箱漏电精度能达 100FA；

6.测试电源

1）型号：安捷伦B2902A；

2）通道：双通道；

3）最小电源分辨率：1 pA/1 μV，最小测量分辨率：100 fA/100 nV；

4）最大输出：210 V、3 A 直流/10.5 A 脉冲；

5）任意波形发生器和 20 μs 间隔的数字转化能力；

6）搭配可视化的简单操作软件Quick IV；

六

收费标准

500元/小时

七

寄样

可远程，邮寄，现场