一
探针台简介
探针台是半导体行业、光电行业、集成电路以及封装等行业的测试设备。探针台主要应用于半导体行业、光电行业、集成电路以及封装的测试。广泛应用于复杂、高速器件的精密电气测量的研发,旨在确保质量及可靠性,并缩减研发时间和器件制造工艺的成本。
二
探针台原理
探针台是利用探针直接与测试对象的焊垫或凸块等直接接触,引出讯号,达到测试的目的。
三
探针台组成部件
探针台由探针台主体,显微镜,高精度CCD,探针座,探针夹具,真空泵等组成,由探针台组成的IV测试系统还需要配备高精度电源和测试软件。
四
米格实验室-IV测试探针台
提供6寸及以下的探针IV测试服务
精确的电流电压控制(安捷伦B2902A电源,电流精度100fA);
简洁的IV测试软件(Quick IV);
可视化的探针位置以及晶圆形貌显示(高像素CCD)。
五
IV测试探针台参数
1. 探针台
1)样品要求:≤6寸wafer, 1um以上电极pad;
2)卡盘旋转调节精度:0.002° ;
2. 显微镜
1)物镜变焦倍率:0.8倍~5倍;
2)目镜倍率:20倍;
3)总的放大倍率:16倍~100倍 ;
3. CCD
1)像素:200万;
2)帧率60fps;
4. 探针座
1)精度:0.7um;
2)磁力吸附,磁力开关;
5. 探针夹具
1)配合屏蔽箱漏电精度能达 100FA;
6.测试电源
1)型号:安捷伦B2902A;
2)通道:双通道;
3)最小电源分辨率:1 pA/1 μV,最小测量分辨率:100 fA/100 nV;
4)最大输出:210 V、3 A 直流/10.5 A 脉冲;
5)任意波形发生器和 20 μs 间隔的数字转化能力;
6)搭配可视化的简单操作软件Quick IV;
六
收费标准
500元/小时
七
寄样
可远程,邮寄,现场